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Détail

La plateforme

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Physique Plateforme de nanofabrication STnano

  • Directeur-trice de la plateforme Hicham MAJJAD
  • Directeur-trice scientifique Bernard DOUDIN
  • Directeur-trice technique Hicham MAJJAD
  • UMR 7504 - IPCMS / Institut de physique et chimie des matériaux de Strasbourg, UMR 7515 - ICPEES / Institut de chimie et procédés pour l'énergie, l'environnement et la santé
  • CNRS, UNIVERSITE DE STRASBOURG
  • Cronenbourg Schiltigheim
  • Monosite
  • Prestations de services
    • à la communauté académique
    • au monde socio-économique
  • Collaborations de recherche
    • avec la communauté académique
    • avec le monde socio-économique
  • Tutelles de rattachement
    • CNRS
    • UNIVERSITE DE STRASBOURG
STnano

La plateforme de nanofabrication STnano fait partie du Réseau National de Centrales de Nanotechnologies Renatech+. La plateforme STnano, certifiée ISO 9001, consiste en une salle blanche de 180 m² qui dispose d’espaces de travail de classe 100 dans un environnement de classe 1000. Elle est complétée par deux laboratoires, eFab dédié à la lithographie électronique de 50 m² et le 2DLab dédié aux matériaux 2D. STnano dispose actuellement de tout l’équipement nécessaire pour l’ensemble des procédés pour la nanostructuration. La plateforme a pour mission de :

dispenser une formation de base ou avancée aux procédés de nanofabrication
fournir l’accès aux équipements de la salle blanche
favoriser les partenariats avec les industriels et les centres de recherche

Accéder au site web

Certifications et accréditations

Expertises

Expertise scientifique

  • Spintronique
  • Électronique moléculaire
  • Nanomagnétisme
  • Matériaux 2D
  • Multiférroïques
  • Microfluidique
  • Nanofab pour la santé

Expertise technique

  • Lithographie électronique
  • Lithographie laser
  • Couches minces
  • Gravure
  • Caractérisation électrique
  • Microscopies électronique et optique
  • Lab on chip
  • Découpe de précision

Ressources

Principaux équipements

  • Lithographie électronique
  • Lithographie laser
  • Systèmes de dépots de couches minces sous ultra-vide (métaux et isolants)
  • Gravure ionique réactive fluorée
  • Equipements de caractérisation (AFM, Profilomètre, 4 probes system)
  • Equipements de back end (wire bonding, découpe de substrats)
  • Ion Beam Etcher (IBE) avec détection des espèces gravées (SIMS)

Locaux spécifiques

  • Salle propre/blanche

Ressources logicielles / bases de données

  • Cadence
  • Layout Editor
  • ZEN Core
  • Elphy+
  • Nanoscope Analysis

Exemples de prestations de service

  • Réalisation de capteurs sur substrats d'ITO
  • Réalisation de puces microfluidiques (Lab On Chip)

Projets collaboratifs récents

Partenariats de la plateforme